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产品名称: 爱德华螺杆真空泵IH600/1000专业维修
产品时间: 2019-02-26
产品型号: IH600
产品特点: 爱德华螺杆真空泵IH600适用于半导体行业居多,东莞市品雅真空设备众彩网专业维修爱德华半导体型真空泵及其供应新泵,常年爱德华真空泵维修包及其真空泵油现货供应。

爱德华螺杆真空泵IH600/1000专业维修 的详细介绍

东莞品雅专业维修爱德华螺杆真空泵IH600/1000

爱德华真空泵针对不同的行业,推出不同的真空泵配型,不同的行业,由于使用环境和工作运行状态不同,需要的产品功能不同,因此爱德华真空泵产品类型众多,没一款产品都是针对不同的行业使用有着非常明显的效果,在高真空和超高真空领域有着非常强大的领导地位。

爱德华真空泵IH600/IH1000在半导体行业有着广泛的使用,一般是配合罗茨型真空泵EH2600使用,可以更快的为客户提供所需真空,同时螺杆真空泵在处理水分和小型颗粒,腐蚀性气体非常合适。

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性。

行业应用:
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

IH600订货号:

iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59020957

爱德华半导体螺杆真空泵IH600参数:

  
峰值速度600 m3h-1
 353 cfm
 10000 l min-1
极限真空7 x 10-4 mbar
 5.3 x 10-4 Torr
 0.07 Pa
典型轴封氮流量4 slm
进气口连接ISO100
出口连接NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量240 l h-1
 4 l min-1
重量415 kg
极限功率输入3.4 kW
电机额定功率6.1 kW
油容量1.43 l

IH1000参数:

峰值速度1000 m3h-1
 589 cfm
 16670 l min-1
极限真空1 x 10-3 mbar
 7.5 x 10-4 Torr
 0.1 Pa
典型轴封氮流量4 slm
进气口连接ISO100
出口连接NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量240 l h-1
 4 l min-1
重量430 kg
极限功率输入3.8 kW
电机额定功率6.1 kW
油容量1.48 l

iH1000 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59030908
iH1000 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59030945
iH1000 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59030946
iH1000 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59030957

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